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ZNXsensor超精密电容位移传感器

该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可以用在两个不同的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。

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- 主要特点-
  • 量程20~1250μm; 

  • 分辨率<0.1nm;

  • 零磁滞; 

  • 线性最高0.02%; 

  • 频带可调:50~5000Hz;

  • 灵敏度可调; 

  •  真空兼容选项;

-应用领域-

压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。

   

- 技术规格-


传感器型号

ZNXB

ZNXC

ZNXD

小量程μm

20

100

250

灵敏度μm/V

2

10

25

噪音nm rms Hz-1/2

<0.001

<0.005

<0.013

温漂nm/K

1

4.4

11

线性度%

<0.08

<0.03

<0.06

大量程μm

100

500

1250

灵敏度μm/V

10

50

125

噪音nm rms Hz-1/2

<0.015

<0.075

<0.188

温漂nm/K

4.4

22

55

线性度%

<0.08

<0.05

<0.06

工作温度

+10~+50℃(控制器);-273~+80℃(探头)

存储温度

0~+70℃

相对湿度

5~95%(无冷凝)

频响Hz

50/500/5000


控制器型号

CC2000

传感器通道最大个数

1

供电

±15V,70mA

模拟输出V

±5

数字输出

尺寸mm

218 x 77 x 34

频响KHz

5


我们保留规格变化而不另行通知的权利。


- 测量原理-


- 行业解决方案-

正在更新,请稍后……


- 成功案例-

正在更新,请稍后……


- 安装尺寸-
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