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CPS3D表面微观型面测量系统

我们具有多年光学传感器和测量技术的经验,并开发出新一代光学传感器,克服了传统产品的缺点。其核心的光电器件使传感器可以满足严格的质量要求。其卓越的测量能力也使它成为研究部门的首选。
NLS13 自动聚焦传感器具有无与伦比的测量速度、精确度和分辨率。由于自动聚焦原理的限制,此传感器只适合于连续表面的测量,对于不连续或表面复杂的情况,建议选用共焦传感器。
从2000年开始,我们开发了共焦传感器作为NLS13的补充。传感器动态的测量范围使它可以应付各种反射率的表面和很尖的边缘,而无需做任何适配或设置。

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- 主要特点-
  • 量程0.3~1mm;

  • 分辨率10~25nm;

  • 卓越的测量性能,且易于操作;

  • 综合的触发?椋

  • 大的测量间隙,高数值孔径,特别适用于复杂的地形;

  • 能测量各种反射率的表面和尖端边缘,并无需做任何适配或设置;

-应用领域-

    产品应用于电子行业,光学器件,电信行业,塑料和造纸行业,IC封装,机械工程,陶瓷行业、汽车等应用领域。

   

- 技术规格-


型号

NLS11

NLS12

NLS13

NLS14

测量范围mm

1

1

1.5

0.3

分辨率nm

20

20

10

25

测量间隙mm

4

13.5

2

4

光斑直径μm

<2< span="">

2

1.9

5

激光等级

2

1

1

 

光源

半导体传感器

半导体传感器

半导体传感器

卤素灯

工作原理

共焦传感器

共焦传感器

自动聚焦传感器

白光传感器


我们保留规格变化而不另行通知的权利。


- 测量原理-

    NLS13发射的光源通过物镜投射到被测物样品表面,其反射回来的光会通过内置的装置形成光斑显示在传感器里面,从而被探测器检测。物镜的运动通过增量型编码器控制,传感器自动算出当前位移值。

- 行业解决方案-

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- 成功案例-

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- 安装尺寸-

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